真空紫外光源结构的制作工艺

　　共面型真空紫外光源结构主要由后基板、1J50合金制作的后可伐合金组件、1J49合金制作的前可伐合金组件、MgF2光窗以及不锈钢环等组成。

　　为了使整个器件达到匹配封接的目的，前后可伐合金组件之间采用不锈钢环过渡连接。在后基板上制作有一组相互平行的共面电极。该结构的优点在于器件结构简单、电极结构设计合理、导线引出方式安全可靠。玻璃喷漆机由于采用共面电极结构，因而提高了真空紫外线的透过率；另一方面可以通过调节电极间距来提高VUV的产生效率而不受器件厚度的影响，易于实现薄型化。

　　器件的制作工艺包括前工序及后工序。

　　前工序包括玻璃基板的清洗、退火、前可伐合金组件制作等；前工序包括前可伐合金组件的制作以及前可伐合金与不锈钢封接环的连接。与MgF2光窗封接的金属合金称之为前可伐合金组件。扫描隧道显微镜封接合金采用与MgF2晶体热膨胀系数相似的1J49合金材料，利用机械冲压将1mm厚的合金板材经烧氢、压延、再烧氢等工艺步骤制作而成，整个压延深度为78mm。不锈钢封接环采用机械切削的办法，将不锈钢管材加工成外径51mm，内径48mm的管型结构，然后进行切削和倒角加工。不锈钢封接环制作完成后，采用有保护气体的氩弧焊将其和前可伐合金组件焊接在一起。

　　后工序包括后可伐合金组件制作以及后基板电极的印刷。前后合金可伐组件制作工艺可分开同时进行，以节约时间和提高成品率。