国际半导体展:Aerotech展出新定位平台

　　美商艾罗德克有限公司（Aerotech）于今（2014）年台北国际半导体展，将展出PlanarDL系列定位平台和QNP系列压电纳米定位平台。

　　从1970年代开始，Aerotech研发的生产各种高精度运动控制系统与定位平台，被广泛用于半导体、光电、生医、资料存取、雷射加工、航太、量测与检测，以及先进封装与各种需要高精密定位系统的产业。

　　于半导体展期，Aerotech将展出*新的运动控制产品。PlanarDL系列定位平台提供杰出的动态特性与几何公差，并且具有*小的机械尺寸、薄型设计与具有竞争优势的价格。PlanarDL平台具有9种行程与性能选项，其直线度与平面度的优势适用于表面轮廓量测应用与半导体／LED雷射划线应用。

　　同期展出Aerotech的QNP系列压电纳米定位平台与QLAB控制器，则是纳米定位技术的革命性设计。QLAB控制器让高阶运动控制功能与先进工具，具有前所未有的使用者便利性。QNP压电纳米定位平台提供高动态，次纳米解析度，与纳米等级线性度。应用于半导体产业之运动控制与定位系统，使用者再也不需要牺牲产能或精度。

　　Aerotech产品应用于半导体产业具有多年经验，除前段之曝光显影制程、晶圆检测制程、薄膜测厚制程、原子力显微镜应用，至后段之先进封装制程、晶圆切割制程、晶圆接合制程等，Aerotech能够针对各种特殊应用提出*佳化之标准化／客制化解决方案，达到*严苛之运动控制要求，提升设备之产能与良率。

　　外界看好物联网（IoT）将是继智慧手持装置后的未来明星产业，工研院产经中心（IEK）电子与系统研究组计划副组长杨瑞临今天表示，台湾半导体产业需要切入到操作系统（OperatingSystem）部分，才能有更高获利。