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DC、RF、mmW测试；
纳米级电子器件测试、微机电测试；
超导测试。
产品特点：
80k-573k温度范围，可扩展至4k-1073k。
载物台内部液氮浸润式结构，快速降温，液氮使用量更少，节约耗材成本。
高真空不锈钢真空腔体（配套分子泵组可达10-6mbar）。
低温测试时真空腔体体内无凝露、结霜。
红外截止玻璃观察窗，提升测试腔内部温度稳定性。
4探针点测系统，*多可定制8探针点测系统。
配套同轴或三轴电缆可应用于高精度的DC测试。
配套微波测试套件可应用于DC-67GHz的RF测试或频率更高的mmW测试。
载物台
尺寸 4"（2"、6"、8"方案可选）
材质 合金铜
表面处理 可选纯金镀层或沉镍镀层
平整度 <50µm@300℃
载物台移动基座（可选项）
X-Y轴行程范围 4"*4"，根据载物台尺寸可选更大行程，电动控制系统可选
精度 1μm
R轴微调角度范围 ±9°
R轴微调精度 0.0001°/deg
Z轴细调行程范围 13mm
细调精度 1μm
Z轴快升行程 350μm
Z轴往复精度 <1μm
温度控制系统
温度范围 80k-573k
温度精度 0.1℃
温控精度 温控精度0.1℃，连续变温无节点。
温度均匀性 0.1℃@4(100mm)载物台。
加热方式 电阻加热
制冷方式 液氮制冷
杜瓦罐容量 80L自增压液氮杜瓦罐
致冷剂消耗量 15L液态氮（室温降至80k）
温度扩展范围 4k-1073k
真空系统
真空度 10-3mbar*（可配套分子泵组，达到更高的真空度10-6mbar）
真空泵 旋片式双级油封真空泵，可升级涡轮分子泵组
抽速 16m3/h
抽真空时间 5min（10-3mbar）
真空焊接波纹管 三维弯曲大于25mm（定制参数）
法兰 KF（更高真空度要求则使用CF）
真空腔体
腔体材质 不锈钢
观察舷窗 红外截止玻璃**
真空泵接口法兰 KF25
液氮接口法兰 KF25
点测系统
探针座数量 4个（*多8个，可根据需求定制）
探针夹具 4个（*多8个，可根据需求定制）
定位精度 5μm（可根据需求定制）
X-Y-Z轴移动行程 25mm*25mm*25mm（可根据需求定制）
光学系统（体视显微镜）
光学放大倍数 15X-100X
变焦倍率 0.75X-5X（变倍比6X）
CCD 1/3”数字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口
显微镜旋臂 两段式显微镜支架，可快速移动定位显微镜
光学系统（单筒显微镜）
光学放大倍数 400X(21英寸显示器)
变焦倍率 0.58X-7X（变倍比12X，超大变倍范围）
CCD 1/3”数字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口
显微镜旋臂 两段式显微镜支架，可快速移动定位显微镜
显微镜移动基座（可选项）
X-Y轴行程范围 2"*2"，根据载物台尺寸可选更大行程，电动控制系统可选
精度 1μm
防震台
隔震方式 气囊式防震台
固有频率 1.2Hz（水平），1.5Hz（水平）
样品振动 <300nm（真空泵工作时）
*低温测试时真空腔体内无凝露或结霜。
**红外截止玻璃：过滤红外光，防止红外光进入真空腔体内使腔体内部升温，提升载物台温度稳定性。
***77k为液氮温度，实际操作中，由于载物台热传导损耗的存在，无法达到77k。根据液氮循环的时间而定，实际*低温度不会低于85k。
品牌简介-PRCBE
展芯科技是一家专业的探针台系统研发和生产商，致力于为用户提供中国（PRC）精准（Precise）、可靠（Reliable）和高性价比（Cost-effective）的探针台系统。
依托于自有的芯片失效分析实验室，展芯科技得以根据*前端的测试需求不断地研发改进探针台系统，以满足用户日新月异的测试需求。同时，芯片失效分析实验室也为展芯的探针台系统提供了理论联系实际的测试平台，芯片分析实验室用户在使用探针台系统的同时，也给我司产品提供了宝贵的改进建议。
经过10年的发展和积累，展芯已在探针台系统的应用技术领域取得了卓越的成绩，可针对用户不同的测试需求定制解决方案，如微弱电流测试（1fA）、RF 和mmW测试（THz）、高功率测试（100A，10kV）、真空高低温测试（-196℃~800℃）、光电测试等等。
凭借着PRC的产品，展芯赢得了半导体行业内知名科研机构和公司的信任和尊重，建立了长期的合作关系。展芯的探针台系统已在国内外的科研院所、学校和公司中获得广泛的使用，如中科院、广州五所（赛宝实验室）、北京自动化设备研究所、电子科技大学、西安电子科技大学、清华大学、北京大学、复旦大学、香港大学、香港科技大学、香港城市大学、华为、中兴、比亚迪、富士康等等。
感谢您对展芯的关注，相信我们PRC的产品定能让您在集成电路 (IC)、电路板、光学器件、MEMS、3D TSV、LCD等先进半导体器件的精密电气测量及测试中获得精准可靠的测试数据。
售后服务
2年质量保修期
除探针耗材外，展芯科技销售的产品质量保证期为货物签收之日起2年，在此期间若合同标的物出现质量问题，均由展芯负责维修或替换，但以下情况除外：1. 自然原因导致的产品质量衰退、精度下降；2. 人为或不可抗拒的自然现象而发生的损坏；3. 用户擅自进行的拆解、改装、功能附加或减除导致的损坏；4. 用户自行或经第三方维修导致的损坏。
免费终身维护
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